嘉兴SU8模具加工设备-顶旭微控-SU8模具加工设备性能

前烘

1）将涂布好SU8光刻胶的硅片放置在热板上，进行预热烘烤，去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂，时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um ，设置温度65℃，烘烤15min，然后温度95度，烘烤15分钟）

曝光

1）将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。

2）使用相应的掩模（掩膜）放置在硅片上进行曝光，曝光时间和强度根据SU-8光刻胶的类型和厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um，设置曝光能量25mw/cm2，SU8模具加工设备企业，时间12s）

后烘

将曝光后的硅片放置在热板上，进行后曝光烘烤，以确保光刻胶的交联反应完成。（举例说明：目标胶厚度50um，设置温度65℃，烘烤7min，SU8模具加工设备性能，然后温度95℃，烘烤3min）

六、显影

将硅片放入显影剂中，使未曝光部分的光刻胶溶解，形成模具的图案。（显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整，此处显影时间20min）

清洗

将显影后的硅片用异bing醇溶剂进行清洗，去除多余的光刻胶。

检查

使用显微镜检查制备的SU-8模具，测试观察制备的微结构尺寸，确认图案的清晰度和质量。

匀胶机的报价会受到多种因素的影响，包括品牌、型号、功能、材料、生产成本、市场竞争等。一般来说，SU8模具加工设备作用，价格较高的匀胶机通常具有更的功能和更高质量的材料，而价格较低的匀胶机则可能具有更简单的基本功能和较低的生产成本。此外，嘉兴SU8模具加工设备，市场竞争也会影响匀胶机的价格，如果市场上有较多的供应商，价格可能会下降，反之亦然。因此，要想准确地报价，需要考虑以上因素，并根据实际情况进行综合评估。

注射泵产品

1 注射泵 DLSP 520 Pro

技术指标LSP02-2B

工作方式 ：注射、拍取、先注射后胜取、无拍取后注射、连续

通道数量： 2

zui大行程 ：140mm

行程分辨率： 0.156um

线速度范围 ：5um/min-130mm/min (液量=线速度X注*器内截面积]

线速度调节分辨率： 5um/min

行程控制精度： 误差E士0.5%行程注zui大行程的30%时》

额定线性推力>180N

注*器选择 ：内置主要厂家、主要型号注she器供选择

注*器自定文： 可直接输入注she器内径

流量校正： 通过校正程序获得更为jing确的液量

显示参数选择： 液量、流量或线速度

掉电记忆 ：重新上电后保持掉电前的参数设置

通信接口： RS495

外形尺寸 ：280X250X140(mm)

适用电源 ：AC 196V-240V/40W

工作环境温度： 0°C~40°C

工作环境相对湿魔<80%