企业等级: | 商盟会员 |
经营模式: | 生产加工 |
所在地区: | 江苏 苏州 |
联系卖家: | 周经理 先生 |
手机号码: | 17751163890 |
公司官网: | www.dxfluidics.com |
公司地址: | 苏州工业园区斜塘街道东富路32号雅景综合产业园A栋A217室 |
使用方法
该设备操作简单,匀胶机报价,易于上手,具体操作如下:
一、曝光前准备工作
1、硅片处理:确保待曝光硅片经过匀胶处理,表面干净平整,没有明显的污渍或破损。
2、选择光刻板:根据项目需要,选择合适尺寸的光刻板,本设备兼容4英寸、5英寸或6英寸。
3、设备检查:仔细检查设备,确保所有部件处于正常工作状态,确保操作环境良好。
二、曝光操作步骤
1、安装硅片:将待曝光硅片平放在设备的载台上,确保位置准确。
2、放置光刻板:将光刻板平放在硅片上方,匀胶机性能,如果使用菲林掩膜,需要在其上方放置透明玻璃以保持平稳。
3、设定曝光参数:使用控制面板设置曝光时间和强度,根据具体需求进行调整。
前烘
1)将涂布好SU8光刻胶的硅片放置在热板上,进行预热烘烤,去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂,时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um ,设置温度65℃,烘烤15min,然后温度95度,烘烤15分钟)
曝光
1)将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。
2)使用相应的掩模(掩膜)放置在硅片上进行曝光,曝光时间和强度根据SU-8光刻胶的类型和厚度进行调整。(举例说明:目标胶厚度50um,设置曝光能量25mw/cm2,时间12s)
后烘
将曝光后的硅片放置在热板上,进行后曝光烘烤,以确保光刻胶的交联反应完成。(举例说明:目标胶厚度50um,设置温度65℃,烘烤7min,然后温度95℃,烘烤3min)
六、显影
将硅片放入显影剂中,使未曝光部分的光刻胶溶解,匀胶机公司,形成模具的图案。(显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整,此处显影时间20min)
清洗
将显影后的硅片用异bing醇溶剂进行清洗,去除多余的光刻胶。
检查
使用显微镜检查制备的SU-8模具,测试观察制备的微结构尺寸,确认图案的清晰度和质量。
数显测厚规(千分款)
测量匀胶厚度
量程:0~10mm
精度:0.001mm
公差:≤±0.005mm
显微镜观察头:铰链式三目观察头,30°倾斜,北京匀胶机,瞳距48~75mm
目镜:超大视野目镜 10X/22
无xian远平场消色差物镜:4X/0.1,10X/0.25,20X/0.4,40X/0.65
转化器:四孔转换器
载物台:载物台面积300×268mm,移动范围250×250mm
焦距调节:同轴粗微动调焦机构,行程24mm
照明系统 :6V20W卤素灯,亮度可调
滤色镜 蓝色、黄色、绿色、磨砂玻璃片
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地址:苏州工业园区斜塘街道东富路32号雅景综合产业园A栋A217室 主营产品:微流控芯片定制,微流控芯片加工设备,微流控仪器,表面修饰
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