SU8模具加工设备性能-南通SU8模具加工设备-顶旭微控

前烘

1）将涂布好SU8光刻胶的硅片放置在热板上，南通SU8模具加工设备，进行预热烘烤，去除光刻胶中的挥发性有ji溶剂，SU8模具加工设备优点，时间和温度根据光刻胶厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um ，设置温度65℃，烘烤15min，然后温度95度，烘烤15分钟）

曝光

1）将预热后的硅片放置在桌面光刻机托盘上。

2）使用相应的掩模（掩膜）放置在硅片上进行曝光，曝光时间和强度根据SU-8光刻胶的类型和厚度进行调整。（举例说明：目标胶厚度50um，设置曝光能量25mw/cm2，时间12s）

后烘

将曝光后的硅片放置在热板上，进行后曝光烘烤，以确保光刻胶的交联反应完成。（举例说明：目标胶厚度50um，设置温度65℃，烘烤7min，SU8模具加工设备性能，然后温度95℃，烘烤3min）

六、显影

将硅片放入显影剂中，使未曝光部分的光刻胶溶解，形成模具的图案。（显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整，此处显影时间20min）

清洗

将显影后的硅片用异bing醇溶剂进行清洗，去除多余的光刻胶。

检查

使用显微镜检查制备的SU-8模具，测试观察制备的微结构尺寸，SU8模具加工设备公司，确认图案的清晰度和质量。

匀胶机

调速范围和时间：

I档：50~10000转/分，时间0~999s

II档：50~10000转/分，时间0~999s

适用：直径5~100mm硅片及其他材料匀胶

转速稳定性：±1％

胶的均匀性：±2％

电极功率：40W，单相110~240V

真空泵抽气速率：＞60L/min

热板

温度：0~300℃

温度稳定性：±1℃

功率：850W

台面大小：200x200mm

SU8光刻机定制流程如下：1.明确需求，根据实际生产需要确定机型、精度等级和功能等。2.提供物料清单，用于确认可加工的金属和非金属材料种类。3.将图纸文件发送给厂家进行报价评审。4.根据终确定的方案签订合同并支付预付款，开始机器组装与调试。5.项目完成且通过验收后付清尾款并将设备发运至地点。6.在等待机床安装完毕并进行试产期间，可以安排工程师对客户提供的技术支持和服务人员进行现场培训。7.在量产阶段提供SMT及各组立配件供客户选择使用（如刀具、导轨磨损件等）。此外，也可以按照要求设计包装运输方式和物流方式以确保安全抵达目的地。以上内容仅供参考具体过程可能因实际情况而有所不同，建议咨询人士后再执行操作！