杭州桌面光刻机-顶旭-桌面光刻机企业

日常维护

1、定期清理平行曝光机的载台，防止它们因积尘或灰尘而影响加工。

2、保持曝光机的表面清洁，防止灰尘和杂质进入设备内部。

微流控芯片加工设备： 提供丰富多样的微流控芯片加工设备，涵盖SU8模具加工、PDMS芯片加工和玻璃芯片加工。可以帮助客户在自己的实验室内进行微流控芯片的快速制作，从而提高实验效率和灵活性。

装箱清单

1、桌面微型紫外光刻机主机 1台

2、匀胶机 1台

3、热板 2台

4、数显测厚规（千分款） 1只

5、显微镜 1台 （选配）

6、耗材：硅片、掩膜版、SU8光刻胶 （需额外购买）

顶旭（苏州）微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业，我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案。

SU8模具制备流程

1.后烘

将曝光后的硅片放置在热板上，进行后曝光烘烤，以确保光刻胶的交联反应完成。（举例说明：目标胶厚度50um，设置温度65℃，烘烤7min，杭州桌面光刻机，然后温度95℃，桌面光刻机设计，烘烤3min）

2.显影

将硅片放入显影剂中，使未曝光部分的光刻胶溶解，形成模具的图案。（显影时间根据光刻胶厚度和显影剂浓度进行调整，此处显影时间20min）

3.清洗

将显影后的硅片用异丙chun溶剂进行清洗，桌面光刻机性能，去除多余的光刻胶。

4.检查

使用显微镜检查制备的SU-8模具，测试观察制备的微结构尺寸，确认图案的清晰度和质量。

顶旭（苏州）微控技术有限公司是一家专注于微流控领域的高科技企业，我们致力于为客户提供微流控芯片定制、表面修饰改性、微流控芯片加工设备、以及微流控仪器等全mian的微流控解决方案